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    壓電物鏡位移臺用于掃描顯微成像!

    更新時間: 2019-09-16

    壓電物鏡位移臺是專為驅動物鏡頭進行納米級快速步進、掃描而設計的,它與壓電納米定位臺、壓電平臺具有相同的原理,與之不同之處是具有專門針對物鏡頭的特殊螺紋適配接口,非常便于物鏡頭的連接與固定。

    從上圖中可看出,在外觀上,壓電平臺與壓電物鏡位移臺顯著不同。

    以芯明天P76壓電物鏡位移臺為例,它的外形類似中空的圓柱形,結構內部采用對稱式的驅動機構,在內側中空位置固定物鏡頭,且物鏡螺紋適配器可根據客戶要求選擇或定制。

     

    芯明天P76壓電物鏡位移臺

     

    P76壓電物鏡位移臺的行程為100μm(1μm是一百萬分之一米),它的分辨率可高達2.5nm(1nm為十億分之一米);它的承載能力為500g,并且它的掃描階躍時間可達2ms。配備閉環傳感器后,它的重復定位精度可達滿行程的0.02%。

     

    閉環版本詳細參數如下。 

    型號:P76.Z100S

    運動自由度:Z

    行程范圍(0~120V):80μm

    行程范圍(0~150V):100μm

    傳感器類型:SGS

    線性度:0.05%F.S.

    重復定位精度:0.02%F.S.

    推/拉力:70/10N

    運動方向剛度:0.8N/μm

    空載諧振頻率:800Hz

    空載階躍時間:5ms

    10%行程空載工作頻率:400Hz

    靜電容量:7.2μF

    重量:520g

     

    通過激光準直儀測量P76壓電物鏡位移臺運動的直線性。 

     

    應用舉例

    P76壓電物鏡位移臺應用于顯微掃描成像,以測量納米結構。

    下圖應用中采用的是倒置使用壓電物鏡位移臺,顯微鏡與物鏡位移臺位于樣品的下方。該系統采用籠式結構組成,利用光學測量原理,通過P76位移臺的納米級高精度快速步進掃描,可對納米結構進行高精度的測量,該測量非常適于生物、醫療等應用,同時它也是納米加工中*的步驟。

     

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