N60系列壓電納米定位臺為一維X軸壓電平移臺，內(nèi)置高性能壓電陶瓷可以實現(xiàn)X軸zui大34μm的位移，優(yōu)異的機構(gòu)放大設(shè)計原理，X 軸運動直線性好，開環(huán)閉環(huán)可選，產(chǎn)品體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊、集成度高，是小體積高精度一維精密定位的理想選擇。 N60系列壓電納米定位臺典型應(yīng)用
• 光纖定位 • 光學(xué)掃描
• 微操作 • 納米定位 N60系列壓電納米定位臺技術(shù)參數(shù)： 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | N60.X30S N60.X30K | 單位 | 運動自由度 | X | | 標(biāo)稱行程范圍（0~120V） | 24 | μm±20% | zui大行程范圍（-20~150V） | 34 | μm±20% | 傳感器類型 | SGS/- | | 閉/開環(huán)分辨率 | 1/0.5 | nm | 閉環(huán)線性度 | 0.5/- | %F.S. | 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.3/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動 | <10 | µrad | 推/拉力 | 8/2 | N | 運動方向剛度 | 0.6 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 1.8 | kHz±20% | 閉/開環(huán)空載階躍時間 | 10/2 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 100 | Hz±20% | 行程 | 10 | zui大承載 | 0.5 | kg | 靜電容量 | 0.8 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋁 | | 重量 | 80 | g±5% |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。 N60系列壓電納米定位臺特點： • 一維X軸 • 超小體積 • 位移行程34μm • 毫秒級響應(yīng)時間   一維X軸平移臺
N60為一維X軸運動平臺，臺面兩個安裝螺紋孔，便于安裝負(fù)載。  高分辨率、高諧振頻率、體積小巧
高分辨率 N60配套E53壓電控制器，可實現(xiàn)0.5nm的步進分辨率。  N60采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，一維X軸運動行程34μm， 體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，尺寸為28╳28╳12.5mm。。 N60壓電納米定位臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計，無摩擦無后坐力，具有非常高的分辨率以及良好的 動態(tài)性能，空載諧振頻率達1800Hz。產(chǎn)品穩(wěn)定性好、無漂移、使用壽命長，體積小巧，方便與其他系統(tǒng)結(jié)構(gòu)進行集成安裝等優(yōu)異的性能使其適合于光學(xué) 顯微掃描、精密加工、微操作等應(yīng)用。 |
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