P76系列壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設計的，采用無回差柔性鉸鏈并聯導向機構設計，物鏡補償量較小，具有超高聚焦穩定性，物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動物鏡頭聚焦提高精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。

P76系列為大負載壓電物鏡定位器，承載力zui大可達500g，并帶動大負載物鏡做高速運動。閉環精度高，滿行程線性度達20nm，可進行激光聚焦，已廣泛應用于激光晶圓切割等半導體器件及微電子加工領域中。P76物鏡定位器與物鏡之間通過適配器連接，將物鏡快速鎖定在預期位置。多種螺紋牙可選，如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于與顯微鏡集成安裝。

P76壓電物鏡定位器可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡 等多種標準鏡頭。它也可以通過適配器與手動調節臺相結合使用。

  特性 

       • Z向運動，zui大行程110μm            • zui大承載0.5kg              • 毫秒級響應時間                 

       • 閉環重復定位精度高                    • 聚焦穩定性好

   應用  

       • 三維成像  • 自動聚焦系統   • 晶圓切割 • 干涉/計量  • 半導體測試  • 表面檢測  • 共焦顯微  • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡  • 掩模/晶圓定位  • 生物技術  • 表面結構分析