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    產品名稱:超低溫真空無磁壓電掃描臺

    產品型號:XD106.XYZ60K

    產品報價:

    產品特點:超低溫真空無磁壓電掃描臺,是一款三維運動壓電平臺,它是專為超低溫、真空及無磁環境應用而設計

    更新日期:2025-02-24

    XD106.XYZ60K超低溫真空無磁壓電掃描臺的詳細資料:

    超低溫真空無磁壓電掃描臺

    由芯明天研發生產的XD106.XYZ60K壓電掃描臺是一款三維運動壓電平臺,它是專為超低溫、真空及無磁環境應用而設計,可進行XYZ三維掃描運動,采用低溫壓電驅動,耐低溫可達4K,它的體積小巧,尺寸僅39mm×39mm×35mm,中心通孔φ10mm,非常易于集成,外殼采用輕型耐低溫、無磁材料,采用低溫雙絞線,以適應低溫環境下的使用。


    超低溫真空無磁壓電掃描臺產品特點

    · 低溫真空無磁,耐低溫可達4K

    · XYZ三維運動

    · 4K溫度下位移達30μm/軸

    · 分辨率可達2nm

    · 開環運動控制

    · 響應速度快


    產品應用

    · 半導體加工


    · 半導體檢測

    · 高精密測試和操作

    · 其他真空無磁要求的納米運動控制等


    技術參數


    型號
    XD106.XYZ60K
    運動自由度
    X、Y、Z
    驅動電壓
    0~60V@常溫
    0~150V@低溫4K
    標稱行程范圍(常溫)
    70μm/軸
    @0~60V,常溫
    標稱行程范圍(低溫)
    30μm/軸
    @0~150V,4K溫度
    中心通孔直徑
    10mm
    分辨率
    2nm
    空載諧振頻率
    X415/Y465/Z497Hz
    帶載200g諧振頻率
    XY105/Z229Hz
    靜電容量
    XY5.4μF,Z10.9μF
    材質
    承載能力
    200g
    重量
    220g
    使用方向
    倒置使用
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