三維壓電宏微復(fù)合平臺

本次介紹的就是一款宏微復(fù)合跨尺度兩級驅(qū)動的壓電精密定位臺，它的型號為H81A.XYZ20S/K。它可在XYZ三個方向產(chǎn)生運動，每軸千分尺行程為4mm，壓電行程為18μm。實物外觀如下圖所示。

H81A.XYZ20S/K壓電宏微復(fù)合平臺的一端具有移動臺面，臺面尺寸為60mm×60mm，在移動臺面上配有16個M3的負(fù)載安裝孔。該平臺固定于一個112mm×112mm的底座，在底座上具有8個φ8mm及3個φ6.4mm的通孔，以便于該壓電宏微復(fù)合平臺的固定安裝。

H81A.XYZ20S/K壓電宏微復(fù)合平臺采用了手動千分尺調(diào)節(jié)，該千分尺的行程為4mm，單圈調(diào)節(jié)為500μm。

該宏微復(fù)合平臺的壓電驅(qū)動部分是由壓電陶瓷來驅(qū)動，施加電壓信號來控制。通過芯明天壓電控制器對壓電平臺內(nèi)部壓電陶瓷施加電壓信號，壓電陶瓷產(chǎn)生相應(yīng)的位移，再由柔性結(jié)構(gòu)傳遞到移動臺面，從而使得移動臺面產(chǎn)生微納米級的微位移運動。

該部分壓電驅(qū)動的連接是通過引線及連接器將壓電控制器與壓電宏微復(fù)合平臺相連的。該套壓電系統(tǒng)的引線兩端都采用連接器連接。

三維壓電宏微復(fù)合平臺 技術(shù)參數(shù)

E01.D3系列壓電控制器驅(qū)動H81A.XYZ20S/K壓電宏微復(fù)合平臺的基本參數(shù)如下。