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    產品名稱：CAP電容測微儀系列

    產品型號：

    產品報價：

    產品特點：CAP電容測微儀系列通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內的微小位移，測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組 成，可組成多通道測量。

    更新日期：2025-02-24

    CAP電容測微儀系列的詳細資料：


    E09.Cap電容非接觸式測微儀，通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內的微小位移，測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組 成，可組成多通道測量。

    CAP電容測微儀系列特性：

    • 模塊化設計、自由組拼

    • 可提供單個板卡模塊

    • 高分辨率 • 模擬輸出

    • 非接觸式測量

    原理

    它基于一個理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目 標形成的兩個電極，采用保護環電容器原理，用于測量任何金屬 時，傳感器仍是線性的。

    應用：

    • Z向水準測量 •  X, Y向定位

    • 軸向振動測量

    • 熱膨脹測量 • 位移臺傳感器


    CAP電容測微儀系列技術參數

    型號

    E09.Cap

    單位

    量程范圍

    0~200

    μm

    線性度

    ±0.1

    μm

    靜態分辨率

    2.5

    nm

    動態分辨率（1kHz）

    100

    nm

    傳感器直徑

    10

    mm

    小目標直徑

    10

    mm

    靜態重復性

    5

    nm

    信號溫度穩定性

    ＜ 0.005

    %FSO/℃

    長期穩定性

    ＜ 0.04

    %FSO/ 月

    帶寬

    2

    kHz（-3dB）

    工作溫度范圍

    +10~+50

    ℃

    環境濕度

    <85

    %

    電壓輸出范圍

    0~+10

    V

    供電電壓

    220VAC 50Hz±10%


    傳感器線長

    1.6

    m

    板卡尺寸：長×高× 深

    35×130×180

    mm

    機箱尺寸：長×高× 深

    280×170×360

    mm


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