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    新品推薦!XD770.300S大負(fù)載壓電納米定位臺(tái)

    更新時(shí)間: 2023-06-09

    壓電納米定位臺(tái)在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,可集成于各類高精密裝備,為其提供納米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制,且應(yīng)用非常廣泛,例如顯微掃描、光路調(diào)整、納米操控技術(shù)、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測(cè)量、顯微操作、納米壓印等。隨著科技不斷進(jìn)步,精密定位技術(shù)對(duì)于定位系統(tǒng)的行程、負(fù)載、精度要求也不斷攀升,哈爾濱芯明天科技有限公司持續(xù)加強(qiáng)技術(shù)實(shí)力和研發(fā)能力,不斷攻克技術(shù)壁壘,提升產(chǎn)品性能,以滿足對(duì)大行程、大負(fù)載、高精度的應(yīng)用要求。

    此次為大家介紹的是一款具有大行程、大負(fù)載特點(diǎn)的一維壓電納米定位臺(tái),型號(hào)為XD770.300S,尺寸為(130×100×33)mm^3,實(shí)物外觀如下圖所示。


    圖片



    Z向運(yùn)動(dòng),大負(fù)載、大行程


    XD770.300S壓電納米定位臺(tái)為Z軸方向的運(yùn)動(dòng)平臺(tái),行程可達(dá)300μm,負(fù)載可達(dá)5kg,實(shí)現(xiàn)行程范圍和負(fù)載能力的雙提升,為同時(shí)有大行程、大負(fù)載應(yīng)用需求提供了優(yōu)質(zhì)的解決方案。配合芯明天壓電控制器,分辨率高、響應(yīng)速度快。


    圖片

    配置閉環(huán)傳感,更高精度


    XD770.300S壓電納米定位臺(tái)內(nèi)部配置有閉環(huán)傳感器,反饋可體現(xiàn)精確位置的電信號(hào),可對(duì)壓電納米定位臺(tái)的運(yùn)動(dòng)位置進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)整,提供更高的精度。經(jīng)過(guò)實(shí)測(cè),它的線性度可達(dá)0.08%F.S.,重復(fù)定位精度可達(dá)0.02%F.S.。

    線性度
    正向線性度(%F.S.)
    0.056%
    反向線性度(%F.S.)
    0.073%
    雙向線性度(%F.S.)
    0.073%
    重復(fù)度
    正向重復(fù)度(%F.S.)
    0.011%
    反向重復(fù)度(%F.S.)
    0.009%
    雙向重復(fù)度(%F.S.)
    0.017%



    緊湊尺寸,多孔安裝


    XD770.300S壓電納米定位臺(tái)在具有大承載的情況下,體積并未有過(guò)大的增加,反而很緊湊。在它的移動(dòng)上表面,具有16個(gè)負(fù)載安裝孔,非常便于負(fù)載的安裝。


    圖片

    技術(shù)參數(shù)


    型號(hào)
    XD770.300S
    運(yùn)動(dòng)自由度
    Z
    驅(qū)動(dòng)控制
    1路驅(qū)動(dòng)、1路傳感
    標(biāo)稱行程范圍(0~120V)
    240μm
    行程范圍(0~150V)
    300μm
    傳感器
    SGS
    閉環(huán)分辨率
    10nm
    線性度
    0.08%F.S.
    重復(fù)定位精度
    0.02%F.S.
    俯仰/偏航/滾動(dòng)
    <15μrad
    空載諧振頻率
    380Hz
    帶載5kg諧振頻率
    110Hz
    閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間
    300/10ms
    承載能力
    5kg
    靜電容量
    43.2μF
    工作溫度
    -20~80℃
    材質(zhì)
    鋼、鋁
    重量
    2kg



    薦控制器


    XD770.300S壓電納米定位臺(tái)可使用芯明天E53.D系列壓電控制器驅(qū)動(dòng),它是單通道壓電控制器,可通過(guò)模擬輸入控制或上位機(jī)軟件控制。具有體積小、易集成等特點(diǎn)。

    圖片



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