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    新品推薦！芯明天閉環三維壓電螺釘運動平臺

    更新時間： 2023-02-09

    此次為大家帶來一款閉環式、三維運動、壓電螺釘驅動的壓電運動平臺。使用過壓電螺釘運動平臺的用戶都會了解，一般情況下，這種運動平臺都是開環的，沒有閉環伺服控制傳感器。但考慮到用戶在大行程運動控制下對高精度的要求，芯明天專門設計、研發了XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺，該平臺配備了增量式編碼器，對運動行程、精度等可進行精確控制，且精度可達1.5μm。


    圖片
    芯明天XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺

    特  點


    XYZ三維運動
    配有閉環增量式編碼器
    行程±12.5mm/軸
    納米級分辨率
    精度達1.5μm

    運動原理


    XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺是采用壓電螺釘驅動，壓電螺釘的運動是通過內部壓電陶瓷的微運動，驅動螺紋桿旋轉，從而沿著螺紋向前運動。螺紋桿的推動，使得載物移動平臺臺面的直線運動。

    圖片

    技術參數


    產品設計的參數如下表所示。


    型號
    XYZ65N81E26
    運動自由度
    X
    集成傳感器類型
    增量式編碼器
    標稱行程范圍
    ±12.5mm
    速度
    50μm/s
    閉/開環分辨率
    80nm
    線性度
    1.5μm
    重復度
    1.5μm
    承載能力
    1.5kg
    工作溫度
    0~50℃
    質量（包含電纜）
    2.61kg
    材質
    鋁、鋼
    電纜長度
    1.5m
    推薦控制器
    E53.D1E



    產品實測數據


    下方測試結果是在1.5kg負載、28.8℃溫度、31%濕度下測得。


    運動軸
    X
    Y
    Z
    線性度
    1.253μm
    1.327μm
    1.157μm
    重復度
    1.439μm
    0.275μm
    1.134μm
    分辨率
    80nm
    80nm
    80nm
    運行速度
    55.30μm/s
    64.62μm/s
    54.50μm/s



    從測試結果中可看出，X、Y、Z三個方向的定位精度均可達到1.5μm以內。運動效果如下視頻所示。



    注：視頻60倍率播放。



    可定制參數、可定制真空版本


    芯明天可根據用戶的參數要求定制壓電螺釘運動平臺，自由選擇一至三維運動版本，自由選配增量式編碼器。此外，可定制真空兼容版本，真空度可達10^-6mbar以上。
    圖片

    應  用


    XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺是三維直線運動版本，因其大行程及高精度的特點，非常適用于半導體測試、晶圓檢測、納米壓印、納米計量、工業精密定位等領域。

    配套控制器


    XYZ65N81E26壓電螺釘運動平臺采用芯明天自研生產的E53.D1E壓電伺服控制器，可通過串口與上位機進行連接通信，通過上位機軟件，對壓電螺釘運動平臺進行運動的控制，可設置運動速度等參數。
    圖片

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    圖片

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