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    芯明天封裝式壓電促動器及其在微納米壓痕中的應用

    更新時間: 2018-06-19

      一、芯明天壓電疊堆陶瓷  

    壓電疊堆陶瓷屬于功能性材料,對壓電疊堆陶瓷施加電壓后,壓電疊堆陶瓷可產生形變,形變量約為形變方向長度的1.5‰,且形變量與所施加的電壓基本成線性關系。壓電疊堆陶瓷具有遲滯與蠕變特性。

     

    芯明天壓電疊堆陶瓷

     

      二、芯明天封裝壓電促動器  
    芯明天封裝式壓電促動器是以壓電疊堆陶瓷為內部驅動元件,采用直驅結構,通過設計特殊外形殼體、底座、預緊、移動端等結構,將壓電疊堆陶瓷封裝于內部,且可將壓電疊堆陶瓷的性能如出力、位移形變量等*展現出來,且封裝式壓電促動器可承受一定的拉力,甚至扭力,抗振動且防撞擊,更適用于工業型使用。

     

    芯明天壓電促動器基本結構

     

    芯明天壓電促動器運動演示

     

      三、壓電疊堆陶瓷與封裝壓電促動器區別  

    區別舉例:

    參數

    壓電疊堆陶瓷

    封裝式壓電促動器

    外觀

     

    拉力

    不可承受拉力

    可承受一定拉力

    滿幅值使用頻率

    趨于靜態使用

    可高動態使用

    外殼保護

    抵抗環境能力

    固定方式

    粘接或機械夾持

    螺紋固定易于安裝

    轉接方式

    粘接或機械夾持

    多種螺紋可選轉接方便

    反饋傳感

    可選

     

      四、芯明天壓電促動器分類  

    芯明天壓電促動器按外觀形狀分類,可分為柱形壓電促動器及環形壓電促動器;按特點分類,可分為低壓型壓電促動器及大出力型壓電促動器;按控制方式分類,又可分為開環及閉環,與開環相比,閉環具有反饋傳感,并可消除開環的遲滯與蠕變特性。

      五、芯明天封裝壓電促動器外觀尺寸  

    芯明天壓電促動器的直徑小為9mm,大為45mm,高度小為19mm,大為199mm,此范圍以外尺寸可進行定制。封裝式壓電促動器的出力與外徑尺寸有關,外徑尺寸越大,出力越大;它的位移范圍與高度相關,高度越高,位移量越大。

      六、芯明天封裝壓電促動器基本參數  

    柱形封裝壓電促動器:直徑、大高度及大標稱位移基本參數。

    型號

    外徑[mm]

    H標稱[µm]

    驅動[V]

    VS9 系列

    9

    28

    19

    0~150

    VS10 系列

    10

    100

    95

    0~150

    VS12 系列

    12

    154

    152

    0~150

    VS15 系列

    15

    190

    190

    0~150

    VS20 系列

    20

    197

    190

    0~150

    VS25 系列

    25

    199

    190

    0~150

    VS18 系列

    18

    185

    200

    0~1000

    VS25 系列

    25

    187

    200

    0~1000

    VS35 系列

    35

    194

    200

    0~1000

    VS45 系列

    45

    194

    200

    0~1000

     

    ODID[mm]

    大標稱位移[V]

    VS22系列

    22

    9

    71

    47

    0~150

    VS35系列

    35

    14

    71

    47

    0~150

    VS18系列

    18

    4.5

    69

    60

    0~1000

    VS22系列

    22

    7.5

    89

    80

    0~1000

    VS35系列

    35

    14

    89

    80

    0~1000

    VS45系列

    45

    25

    107

    100

    0~1000

    (以上參數可選擇定制)

     

      七、芯明天壓電促動器微納米壓痕應用  

    芯明天封裝式壓電促動器的位移與所施加的電壓成線性關系。在同樣電壓下,力與位移也成線性關系,如下圖所示。例如,對于一個低壓促動器,在120V電壓驅動下,若陶瓷促動器的形變量達到大,則它的出力為0,若120V時,陶瓷促動器的形變量為0,則它的出力將達到大點Fmax。 

    芯明天PST系列壓電促動器的諧振頻率可達40kHz,加速度快,且定位精度在納米量級。壓電促動器帶動壓頭實現沿Z向的精密壓入和壓出過程,它的性能會直接影響到壓痕裝置的精度及可用性。閉環壓電促動器帶有反饋傳感,基于閉環控制理論,可實現位移閉環控制,保證加載的穩定性。

     

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