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S23.ZT0S/K25小體積三維壓電偏轉鏡
S23.ZT0S/K25系列壓電偏轉鏡是一款小體積三維壓電偏轉鏡，可進行θx、θy兩軸偏轉和Z向升降運動，偏轉角度可達±0.5mrad/軸 ，直線位移可達20.5μm，能夠滿足多種角度對光路調節的需求。空載諧振頻率可達4.2kHz，可以在短的時間內完成快速響應，實現高頻次的光路調整。閉環偏擺分辨率可達0.03μrad，直線可達1nm，能夠精準把控極其微小的角度變化，確保光路調節的超高精準度。小體積的緊湊結構設計，能夠更輕松集成到各種對空間要求嚴苛的光學系統中，無論是小型化的科研儀器，還是對設備尺寸有嚴格限制的工業應用場景，都能高度契合，為系統集成化設計提供了極大的靈活性。
產品特點
θx、θy偏轉，Z軸升降
偏擺位移可達±0.5mrad/軸
直線位移可達20.5μm
空載諧振頻率可達4.2kHz
中心通孔φ25.4mm
典型應用
航空航天——衛星激光通信
在衛星光通信中，由于大氣中的環境因素（如折射、散射、大氣湍流等）和激光束自身光束窄、發散角度小等問題，使得激光光束在瞄準過程中容易偏離目標，導致通信狀況差。壓電偏擺鏡由于精度高、響應速度快的特點可以很好的校正誤差。
精密加工——激光加工
在微米級小孔的超快激光加工應用中，對精度的要求非常高，壓電偏轉鏡由于其精度高、響應速度快等特點，集成在激光加工系統中，可以將加工精度低、孔徑不圓滑等問題解決。
顯微成像——超分辨顯微成像
在光學顯微鏡應用中，壓電偏轉鏡可以在系統內帶動鏡片偏轉，進行光路轉向調整，用于獲取更清晰、均勻且對比度更高的圖像，大幅提高顯微鏡的分辨率和精度，從而實現更加精準的樣品觀察和分析。
| 型號 | S23.ZT0S/K25 |
| 運動自由度 | θx、θy、Z |
| 驅動控制 | 3路驅動，3路傳感/3路驅動 |
| 標稱直線行程范圍 （0~120V） | 16.5μm |
| Max.直線行程范圍 （0~150V） | 20.5μm |
| 標稱偏擺角度（0~120V） | ±0.4mrad/軸（≈±82秒） |
| Max.偏擺角度（0~150V） | ±0.5mrad/軸（≈±103秒） |
| 傳感器類型 | SGS/- |
| 通孔 | 25.4mm |
| 直線分辨率 | 1nm/0.5nm |
| 偏擺分辨率 | 0.03μrad（<0.01 秒） /0.01μrad（<0.01 秒） |
| 閉環重復定位精度 | θx0.03%F.S. /θy0.06%F.S. |
| 空載諧振頻率 | 4.2kHz |
| 帶載諧振頻率@50g | θxθy3.7kHz/Z2.3kHz |
| 承載能力 | 50g |
| 靜電容量 | 2μF/軸 |
| 階躍時間 | 10ms@50g，滿幅值 |
| 材質 | 鋼 |
| 出線長 | 1.5m |
| 重量 | 250g |
E70.D3S/C3K-L壓電控制器是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的三通道壓電控制器，它采用DC24V3A直流供電，帶寬10kHz/通道，可通過RS-232/422、USB、百兆以太網進行數字通信，非常適用于驅動S23.ZT0S/K25壓電偏轉鏡。
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