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影響壓電系統定位精度的因素!

更新時間: 2021-03-29

我們知道壓電陶瓷的理論分辨率是可以達到無限小的,實際中取決于電源控制器和測試系統等因素。采用芯明天壓電控制系統,可達納米及亞納米級,適用于微納米范圍的高精度定位。

由于壓電陶瓷存在遲滯和蠕變的特性,所以在陶瓷上所施加的電壓和得到的位移并不是*線性的,它們之間存在微小的偏移。在定位精度要求非常高的應用中,我們使用閉環控制系統來進行反饋控制。

閉環控制一般我們使用電阻應變計作為反饋傳感器,精度可以達到滿行程的0.1-0.2%,對于更高精度需求,可以采用電容和電感式傳感器。

我們開發陶瓷測量系統集成閉環控制電路通過PID調節電路控制閉環。并且可將測得的實際位置顯示在屏幕,如下圖:

 

請注意:
    一般PZT壓電陶瓷配置傳感器是不能后添加的,需要提前跟隨系統結構裝配。因此,在訂購產品之前需要確定好,看是否需要閉環控制系統。

測量系統

壓電陶瓷遲滯蠕變效應的影響限制了壓電致動器的機械特性。在大多數應用中這些影響并不是十分重要的,而對于一些特殊的應用,如高精度的位移定位等,閉環系統則是比較重要的。閉環系統會測量出致動器的位移,任何不理想的位置變化將通過閉環電路校正。

我們一般采用以下幾種類型傳感器:電阻式、電感式電容式等。

電阻應變傳感器體積小巧,結構緊湊,幾乎可以集成到我們所設計的所有壓電產品中。電容式或LVDT傳感器則應用在更高精度要求或者動態系統中。如何選擇傳感器的類型,需要根據不同傳感系統的功能特性。

壓電陶瓷分辨率
    壓電效應是一個固態效應。在理論上分辨率是沒有限制的;也就是無限小的變化的電場產生一個無限小的機械位移。但是在現實中存在了一些限制分辨率的因素,例如電氣機械聲學和熱干擾等等

機械:
    機械分辨率是根據致動器的設計決定的。我們設計的壓電致動器系統均采用柔性鉸鏈設計柔性鉸鏈結構原理上是沒有機械間隙的,也不產生摩擦因而機械分辨率是無限的。

電氣:
    在操作過程中分辨率表示壓電致動器位移多少,如果沒有位移即表示控制器的輸出電壓保持不變。這個位移是由輸出電壓的輸出能力所決定。例如150V時的行程為100μm0.3mV的電壓噪聲意味著壓電致動器分辨率為0.2 nm

分辨率=行程·電氣噪聲/電壓范圍
   對于閉環模式中的分辨率,我們必須考慮測量系統的噪聲。此值取決于所使用的壓電致動器測量系統調整后的控制參數和功率放大器等方面

請注意:

高的定位分辨率需要非常穩定的測試條件, 否則環境條件將決定實驗的分辨率。

好的測試條件至少包括

良好的接地環境  遠離電磁場  振動隔離  穩定的溫度條件

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