P16系列壓電掃描臺為XY軸平移掃描臺，機構放大設計原理，中心具有通孔，該系列掃描臺有行程可達105μm，開環、閉環可選。方形移動臺面，便于與外部機械結構安裝連接。

特點

•位移可達105μm

•承載能力1.5kg

•閉環重復定位精度高

•開環、閉環可選

•真空版本可選

頻率負載曲線

剛度大、諧振頻率高、負載能力大

P16系列壓電掃描臺，采用機構放大設計原理，內置高性能壓電陶瓷，掃描臺分別可實現50μm 、100μm、105μm 的運動行程，一體式結構設計XY 軸運動無耦合，優異的結構可承載1.5kg 的負載，空載諧振頻率達700Hz。P16.XY100 版本為中心對稱運動方式，需配套帶有一通道恒壓的三通道壓電控制器。

P16二維壓電掃描臺中心通孔尺寸Ø20mm或Ø43mm，該系列壓電掃描臺以其小體積、大負載、高動態等特性廣泛應用于顯微成像等領域。

應用實例

P16.XY二維壓電掃描臺以其大承載、高頻率等特點，應用于光路調整實驗中，帶載鏡片做XY軸精密運動。

技術參數

型號：P16.XY100

運動自由度：X、Y

行程范圍（0~120V）：80μm或±40μm/軸

行程范圍（0~150V）：100μm/軸或±50μm/軸

閉環傳感器：SGS

通孔尺寸：Ø20mm

閉/開環分辨率：10/5nm

閉環線性度：1%F.S.

閉環重復定位精度：0.5%F.S.

俯仰/偏航/滾動：<25μrad

推/拉力：30/30N

運動方向剛度：0.5N/μm

空載諧振頻率：600Hz

閉/開環空載階躍時間：10/1.6ms

承載能力：1.5kg

靜電容量：3.6μF/軸

材質：鋼、鋁

重量：220g