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    P33系列壓電偏轉鏡用于高頻激光加工

    更新時間: 2020-12-21

    在涉及到微米級小孔的超快激光加工應用中集成壓電偏轉鏡,具有加工精度高、加工速度快等特點。已廣泛應用于航天器件微小孔加工、異形孔加工等領域。

     

    P33.T8S系列壓電偏轉鏡是具有快速響應且體積緊湊等特點的偏轉平臺,提供頂端面的高精度角度運動,與其他執行器相比,柔性鉸鏈導向的壓電偏轉平臺可提供更高的加速度,使階躍響應時間在亞毫秒范圍。P33.T8S在10mrad滿行程工作頻率達50Hz,連續工作15天。

    特點

    • 二維θx、θy 偏轉

     偏轉范圍可達12.5mrad

     亞毫秒響應時間

     閉環定位精度高

    • 溫度穩定性高

     

    高動態 閉環精度高

    在機械結構的合適位置采用應變傳感器來得到高穩定性及定位精度,他們提供了較高的帶寬并向控制器發送定位反饋信號,傳感器以橋式配置連接以消除熱漂移從而確保優質的穩定性。

     

    技術參數

    型號P33.T8S

    運動自由度θx、θy

    行程范圍(0~120V)10mrad(≈2060)/±5mrad(≈±1030)

    行程范圍(0~150V)12.5mrad(≈2500)/±6.25mrad(≈±1250)

    閉環傳感器SGS

    閉環分辨率0.5μrad(≈0.1)

    閉環線性度0.25%F.S.

    閉環重復定位精度0.02%F.S.

    空載諧振頻率3.1kHz

    閉環空載階躍時間8ms

    靜電容量14.5μF/軸

    材質

    重量340g

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