芯明天壓電掃描臺應用于紅外熱成像掃描
紅外熱成像掃描技術是利用探測器、光學成像物鏡和掃描系統接受被測目標的紅外輻射能量分布圖形反映到紅外探測器的光敏元上,在光學系統和紅外探測器之間,掃描機構對被測物體的紅外熱像進行掃描,并聚焦在單元或分光探測器上,由探測器將紅外輻射能轉換成電信號,經放大處理、轉換或標準視頻信號通過電視屏或監測器顯示紅外熱像圖。
芯明天N62壓電掃描臺以其高頻率、高分辨率等特點應用于紅外熱像儀中,大大提高了熱像儀成像的分辨率。
平臺采用機構放大設計原理,中心通孔孔徑為26mm,可以實現XY軸±10μm的位移行程,產品體積小巧、結構緊湊易于集成與安裝到設備中。
高精度
N62系列壓電掃描臺內置高可靠性壓電陶瓷,分辨率可以達到0.5nm,滿行程重復定位精度達納米級。
動態性能
N62.XY20K帶載10g負載在500Hz頻率下位移曲線。
技術參數
型號:N62
運動自由度:X、Y
行程范圍@120V:±8μm
行程范圍@150V:±10μm
傳感器類型:SGS
通孔尺寸:φ26mm
閉/ 開環分辨率:1/0.5nm
閉環線性度:0.3%F.S.
閉環重復定位精度:0.1%F.S.
俯仰/ 偏航/ 滾動:<10μrad
推/ 拉力:44/44N
運動方向剛度:X2.2/Y2.2N/μm
空載諧振頻率:X2/Y2kHz
閉/ 開環空載階躍時間:1.5/0.7ms
承載能力:1kg
靜電容量:1.6μF/軸
材質:鋼、鋁
重量:180g