芯明天三維壓電偏轉系統是由二維θx,θy運動壓電偏轉鏡和一維Z向直線運動壓電納米定位臺組合而成，θx, θy軸偏轉角度可達43mrad/軸，Z向直線行程可達500μm，內部集成高精度傳感器，采用柔性鉸鏈設計、無機械摩擦，分辨率高，適用于高精度大行程的掃描及定位使用。

產品運動示意圖

應用

• 光學 / 光束穩定  

• 激光掃描與光束偏轉 

• 圖像處理與穩定 

• 光學捕獲

• 激光調諧

• 光過濾 / 光開關 

• 高精度位置調整

高分辨率、高穩定性

該系統體積小巧，結構緊湊，內部裝配高可靠性壓電促動器，集成在復雜的、FEA建模分析的柔性鉸鏈導向系統。壓電促動器是疊堆共燒型壓電陶瓷，與傳統的壓電促動器相比，可提供更好的性能及可靠性，適合工業應用。

階躍時間

θx, θy 二維偏轉運動滿幅值的響應時間約為15ms。

閉環傳感定位精度高

配置高分辨率傳感器，對位置實時檢測并反饋到壓電控制器，配套芯明天E70系列壓電控制器通過PID算法調整電壓修正位移，從而實現高精度定位。

技術參數

運動自由度：θx, θy 偏轉，Z 軸升降

θx, θy 偏轉角度：43mrad@150V

Z向行程：500μm@150V

傳感器類型：SGS

θx, θy 偏轉分辨率：1μrad(~0.2")

Z向直線分辨率：20nm

閉環線性度：0.02%F.S.

閉環重復定位精度：0.014%F.S.

空載諧頻（θx, θy ）：1.5kHz

空載諧頻（Z）：0.29kHz

重量：985g

芯明天壓電偏轉鏡可與芯明天任意平臺配合使用，組合成多軸精密定位臺，用于多維精密直線與偏轉定位操作。