電容閉環快速刀具微納米壓電定位系統！
基于快速刀具伺服FTS系統的單點車削是加工光學自由曲面的重要方法之一，而傳統的直線刀具伺服的工作頻率很低，并且限制了加工的面形的復雜度和加工效率。工業的快速發展要求非常高的加工精度、復雜度及效率，目前比較成熟的FTS技術之一為PZT壓電促動直線伺服系統，可實現微米級位移、納米級精度及毫秒級高頻響應。
為解決部分快刀加工問題，芯明天專門設計研發了P93系列快速刀具定位臺及控制系統，它采用PZT壓電陶瓷驅動，并使用電容式閉環傳感器，具有非常高的定位精度，可達幾納米。
P93系列快速刀具定位臺及E01.D1壓電控制器
該壓電快速刀具定位系統的控制原理是通過模擬或數字控制輸入信號，控制E01.D1壓電控制器輸出控制電壓，施加到P93快速刀具定位臺，再由定位臺內部的電容傳感器實時檢測定位臺的運動位移，將電容傳感信號反饋到E01.D1的電容傳感模塊，再經過E01.D1的伺服傳感模塊進行信號處理，再對輸出電壓進行調節，該閉環控制的響應時間在幾毫秒至十幾毫秒間。
技術參數
快速刀具定位臺型號：P93.X70C
標稱行程范圍：65μm@120V
行程范圍：81μm@150V
傳感器：CAP
閉/開環分辨率：7/3nm
閉環線性度：0.05%F.S.
閉環重復定位精度：0.03%F.S.
俯仰/偏航/滾動：<15μrad
推/拉力：400/50nm
運動方向剛度：5N/μm
空載諧振頻率：0.15kHz
閉/開環空載階躍時間：10/7ms
閉環空載工作頻率：50Hz@10%行程
閉環空載工作頻率：100Hz@行程
承載能力：20kg
靜電容量：15μF
材質：鋼
重量：4kg
工作溫度：10~50℃
壓電控制器型號：E01.D1C
通道數：單通道
輸出電壓：0~120V/150V
帶寬：10kHz
傳感輸出電壓：0~10V
自發波形：正弦/方/三角/鋸齒波
液晶鍵盤控制
上位機軟件控制
VC++,Matlab,Labview等
RS-232、RS-422、USB通信接口
支持二次開發
尺寸圖
