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    壓電掃描臺|二維XY向直線運動

    更新時間: 2019-02-25

     

    P18.XY300S壓電掃描臺為二維XY運動閉環直線掃描臺采用機放大設計原理,內部以高可靠性壓電陶瓷為驅動源,可以實現370μm/軸的高速掃描,通光孔徑為Ø35mm,非常適用于大行程多維掃描等應用。

     

    特點

    位移可達 370μm

    承載可達1.5kg

    通孔直徑:Ø35mm

    閉環重復定位精度高

    響應速度快

     

    階躍時間

    單點定位應用,P18.XY300S 帶載 100g 負載階躍時間 60ms。

     

    配套控制器

    P18.XY300S二維壓電掃描臺需要三個輸出通道的壓電控制器進行驅動控制,其中兩個通道為可變0~120V輸出,另一通道為120V恒壓輸出。P18.XY300S配套E72.D3S-I1壓電控制器,可滿足P18.XY300S的各項參數要求。

     

    應用實例-納米光刻

    在納米光刻實驗中需要對鏡片進行高速微納米級的精密移動,從而優化鏡片讀取的信息。

    芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩定性等優點應用于納米光刻實驗。

    典型應用

    圖像處理與穩定

    掃描顯微

    干涉/計量

    表面檢測

    光學計量

    半導體測量

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